MA300 圖形電鍍系列干膜光阻劑是一種具備自動(dòng)檢測(cè)能力、高效率、全水溶性的干膜光阻劑，可使用于內(nèi)層和外層的應(yīng)用。本產(chǎn)品在酸性蝕刻、蓋孔與蝕刻和酸性電鍍制程中均有突出表現(xiàn)。
特色及優(yōu)點(diǎn)
高分辨率 -1-2 mil 線寬/線距
優(yōu)質(zhì)的貼合度-高良率
高附著力-高良率
優(yōu)質(zhì)的圖像顯示對(duì)比，具備自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)能力
特有的感光速度-SS 7 at 30-40 mJ/cm2
項(xiàng)目
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單位
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MA312
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MA315
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備注
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厚度
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μm
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30
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38
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感度*1
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mj/cm2
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25
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30
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最短顯影時(shí)間
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sec.
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20
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25
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附著力*1*2(L/S=X/250)
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μm
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25
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30
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解析度*1*2（L/S=X/X）
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μm
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25
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30
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蓋孔孔徑
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μm
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//
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6.5
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*1:MA315(SST=7/21):采用Stouffer21格曝光尺，推薦硬化格數(shù)的中心值的曝光能量，海圣平行光曝光機(jī)制作（UVE-HSP5K-11）
*2:1wt%Na2CO3,30℃，最短顯影時(shí)間x2
*3:分辨率、解析度以及顯影后圖像。
