MP500 選化沉金系列干膜光阻劑特別針對高解析度線路，具有優(yōu)秀的耐堿性蝕刻性能。MP515和MP520可幾乎應(yīng)用于所有電鍍工藝，包括鍍金。
特色及優(yōu)點(diǎn)
極好的耐堿性蝕刻性能
高解析度
較好地應(yīng)用于圖形電鍍
較好地應(yīng)用于直接電鍍
用于沉金電鍍工藝過程
蓋孔能力優(yōu)異
鍍金性能可達(dá)100μin
項(xiàng)目
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單位
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MP515
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MP520
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備注
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厚度
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μm
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40
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50
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感度*1
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mj/cm2
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70
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90
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最短顯影時間
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sec.
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45
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55
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附著力*1*2(L/S=X/250)
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μm
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40
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50
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解析度*1*2（L/S=X/X）
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μm
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30
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40
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蓋孔孔徑
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μm
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6.0
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7.0
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*1:MP515(SST=7/21):采用Stouffer21格曝光尺，推薦硬化格數(shù)的中心值的曝光能量，海圣平行光曝光機(jī)制作（UVE-HSP5K-11）
*2:1wt%Na2CO3,30℃，最短顯影時間x2
*3:分辨率、解析度以及顯影后圖像。
